★高精度：采用有限元模态分析，频率响应及瞬态响应分析获得整机动态性能，采用光栅尺闭环位置反馈；★高稳定性：采用德国SIEB & MEYER控制器，抗干扰能力强；★可扩展性：最大可扩展680mm x 810mm、680mm x 1093mm台面尺寸；
如需了解更多信息，请联系业务代表
